micromachining granel - Bulk micromachining

Micromaquinagem massa é um processo utilizado para produzir micromachinery ou sistemas microelectromechanical (MEMS).

Ao contrário de micromaquinagem de superfície , que utiliza uma sucessão de película fina deposição e a gravação selectiva, micromaquinagem grandes quantidades define estruturas por decapagem selectivamente dentro de um substrato. Considerando micromaquinagem superfície cria estruturas em cima de um substrato, produz grandes quantidades de micromaquinagem estruturas dentro de um substrato.

Normalmente, silício bolachas são utilizados como substratos para a micromaquinagem grandes quantidades, uma vez que podem ser anisotropicamente molhado gravadas, formando estruturas altamente regulares. Ataque químico húmido tipicamente usa alcalinas líquidos solventes , tais como hidróxido de potássio (KOH) ou hidrido de tetrametilamio (TMAH) para dissolver o silício, que foi deixada exposta pela etapa de fotolitografia mascaramento. Estes solventes alcalinos dissolver o silício de uma maneira altamente anisotrópica, com algumas orientações cristalográficas dissolvendo-se a 1.000 vezes mais rápida do que outras. Este tipo de abordagem é frequentemente utilizado com orientações cristalográficas muito específicos no silício em bruto para produzir ranhuras em forma de V. A superfície destas ranhuras pode ser atomicamente lisa se a corrosão for efectuada correctamente, e as dimensões e os ângulos podem ser definidas com precisão. Os sensores de pressão são geralmente criados pela técnica de micromaquinagem grandes quantidades.

Micromaquinagem massa inicia-se com uma pastilha de silício ou outros substratos que é selectivamente gravado, utilizando fotolitografia para transferir um padrão de uma máscara para a superfície. Como micromaquinagem superfície, micromaquinagem massa pode ser realizada com Etches húmidas ou secas, embora a corrosão mais comum em silício é o etch molhado anisotrópica. Este etch toma vantagem do facto de que o silício tem um cristal de estrutura, o que significa que os átomos estão todos dispostos periodicamente em linhas e planos. Alguns aviões têm laços mais fracos e são mais suscetíveis à corrosão. Os resultados etch em poços que têm paredes inclinadas, com o ângulo é função da orientação do cristal do substrato. Este tipo de ataque é barato e é usado geralmente no início de pesquisa, de baixo orçamento.

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