HARMST - HARMST
HARMST é um acrónimo para H igh Um SPECT R acio M icrostructure T echnology que descreve as tecnologias de fabrico, utilizados para criar de elevada razão de aspecto microestruturas com alturas entre dezenas de micrómetros até um centímetro e de aspecto proporções superiores a 10: 1. Exemplos incluem o LIGA processo de fabricação, etch silício avançada , e profunda gravação iónica reactiva .
Veja também
- LIGA
- Avançada Silicon Etch
- Profundo Reactive Ion Etching
- Sistemas de micromecânica - proporção elevada (HAR) Micromachining
Referências
 |
Este artigo sobre engenharia é um esboço . Você pode ajudar a Wikipédia expandindo-o . |