Harvey C. Nathanson - Harvey C. Nathanson
Harvey C. Nathanson (nascido em 22 de outubro de 1936) é um americano engenheiro elétrico que inventou os primeiros MEMS (sistemas micro-eletromecânicos), dispositivo do tipo já encontrado em produtos de consumo que vão desde telefones celulares para projetores digitais.
Dispositivos MEMS, que são feitas utilizando circuitos integrados de técnicas de fabricação, são compostos por pequenos elementos mecânicos móveis que geralmente variam de 1 a 100 micrómetros (0,001 a 0,1 mm) de tamanho. Dispositivos MEMS típicas incluem os acelerômetros encontrados em airbags de automóveis e controladores de jogos de vídeo e mecanismos piezoelétricos utilizados em impressoras jato de tinta.
Nathanson concebeu o primeiro dispositivo de MEMS em 1965 para servir como um sintonizador de rádios microeletrônicos. Foi desenvolvido com Robert A. Wickstrom e William E. Newell na Westinghouse Research Labs em Pittsburgh, PA., E patenteado como uma microelétrico Frequência Aparelho seletiva.
Uma versão aperfeiçoada do dispositivo foi subsequentemente patenteado como o ressonante da porta do transistor.
No seu trabalho o desenvolvimento de dispositivos semelhantes, Nathanson pioneiro de um método de fabrico em lotes em que as camadas de isoladores e de metal sobre hóstias de silicone são moldadas e minar através da utilização de máscaras e camadas de sacrifício, um processo que seria mais tarde tornar-se um esteio de fabricação MEMS.
Em 1973 ele patenteou o uso de milhões de microscopicamente pequenos espelhos móveis para criar um monitor de vídeo do tipo encontrado agora em projetores digitais.
Em 2000 Nathanson foi agraciado com a Medalha do Milênio pelo Instituto de Engenheiros Elétricos e Eletrônicos para "contribuições relevantes para a sociedade e para o campo de dispositivos de elétrons."
Um graduado da Carnegie Mellon University , ele possui mais de 50 patentes no campo da eletrônica de estado sólido.