gerações de sensores MEMS - MEMS sensor generations
MEMS gerações de sensores representam os progressos realizados no micro sensor de tecnologia e podem ser classificados da seguinte forma:
- 1ª Geração
- MEMS elemento sensor principalmente com base em um de silício estrutura, por vezes combinados com análogo de amplificação em um micro chips .
- 2ª Geração
- MEMS elemento sensor combinado com a amplificação analógico e conversor analógico-para-digital sobre uma micro chips.
- 3ª Geração
- Fusão do elemento sensor com amplificação analógico, conversor analógico-digital e digital de inteligência para a linearização e compensação de temperatura no mesmo microchip.
- 4ª Geração
- As células de memória para os dados de compensação calibration- e temperatura são adicionados aos elementos da terceira geração de sensores MEMS.