Atuador térmico MEMS - MEMS thermal actuator

Um atuador térmico MEMS é um dispositivo microeletromecânico que normalmente gera movimento por amplificação de expansão térmica . Uma pequena quantidade de expansão térmica de uma parte do dispositivo se traduz em uma grande quantidade de deflexão de todo o dispositivo. Normalmente fabricado de silício de cristal único ou polissilício dopado como um membro complacente complexo , o aumento na temperatura pode ser alcançado internamente por aquecimento resistivo elétrico ou algo por uma fonte de calor capaz de introduzir calor localmente. Atuadores térmicos microfabricados podem ser integrados em micromotores.

Tipos de atuadores térmicos

  • Assimétrico (bimorfo)
  • Simétrico (feixe dobrado, chevron)

Outros tipos de atuadores MEMS

Referências