Cymer - Cymer
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| Modelo | Sociedade de responsabilidade limitada |
|---|---|
| Indústria | Equipamento Semicondutor |
| Fundado | 1986 |
| Quartel general | San Diego, Califórnia |
Pessoas chave |
Harry Borggreve (vice-presidente executivo ASML / Cymer Technologies
Jim Koonmen (CEO da Cymer Light Source) Robert P. Akins, Ph.D. (Co-fundador / estrategista-chefe de tecnologia da ASML / vice-presidente sênior da Cymer Technologies) (aposentado)Richard L. Sandstrom, Ph.D. (Cofundador / vice-presidente sênior / consultor chefe de tecnologia) (aposentado) |
| Produtos | Fontes de luz DUV, fontes de luz EUV e produtos de dados / serviços para a indústria de semicondutores |
Número de empregados |
1300+ (novembro de 2015) |
| Local na rede Internet | www.cymer.com |
Cymer, LLC. , uma empresa ASML Holding , é uma empresa americana com sede em San Diego , Califórnia . Cymer é o maior fornecedor de fontes de luz ultravioleta profunda (DUV) usadas por fabricantes de chips para padronizar chips semicondutores avançados ou circuitos integrados .
Cymer está atualmente desenvolvendo fontes de luz ultravioleta extrema (EUV) de plasma produzidas por laser de próxima geração .
Em outubro de 2012, foi anunciado que a Cymer seria adquirida pela fabricante holandesa de equipamentos de semicondutores ASML . A aquisição foi concluída em maio de 2013. Cymer agora opera como uma subsidiária independente.
História Corporativa
Cymer foi fundada em 1986 pelo Dr. Robert Akins e Dr. Richard Sandstrom, que se conheceram em meados da década de 1970 em uma aula de laboratório na Universidade da Califórnia, San Diego . Em 1986, o mercado de computadores pessoais abriu uma porta para Akins e Sandstrom aplicarem seus conhecimentos exclusivos de laser para fins de fotolitografia de semicondutores .
Em 1988, a Cymer despachou sua primeira fonte de luz para aplicações avançadas de pesquisa e desenvolvimento para apoiar o desenvolvimento da litografia de semicondutores. Em 1990, uma fonte de luz de segunda geração foi enviada, e a empresa progrediu rapidamente, enviando um total de 78 sistemas de fonte de luz entre 1988 e 1994.
Em meados da década de 1990, a Cymer estabeleceu suas fontes de luz como um componente necessário no desenvolvimento de produtos de semicondutores avançados, e a demanda por suas fontes de luz começou a aumentar. Para atender a essa demanda, a Cymer emitiu sua oferta pública inicial na NASDAQ em setembro de 1996 sob o símbolo CYMI. O IPO da empresa ajudou a fornecer o capital de que Cymer precisava para aumentar a capacidade de produção e a infraestrutura de serviços conforme necessário para atender à rápida expansão do setor.
No boom das pontocom de 2000, a Cymer vendeu um recorde anual de 494 novos sistemas de fontes de luz e, em 2002, a empresa despachou sua 2.000ª fonte de luz. No final da década, a Cymer havia enviado mais de 3.300 KrF (248 nm) e ArF (193 nm) e fontes de luz de imersão ArF em todo o mundo.
Em junho de 2009, a Cymer despachou a primeira fonte de luz de litografia EUV LPP ( plasma produzido a laser ) totalmente integrada para a ASML Holding em Veldhoven, Holanda, para integração em seu scanner EUV. Este novo tipo de fonte de luz produz um comprimento de onda de 13,5 nm e será usado para padronizar chips por pelo menos a próxima década.
Em julho de 2005, a TCZ foi formada como uma joint venture entre Cymer, Inc. e Carl Zeiss SMT AG para desenvolver e fabricar uma ferramenta de processo de cristalização de silício para uso na produção de telas planas e telas OLED . A ferramenta de cristalização usa a tecnologia de fonte de luz da Cymer. Em janeiro de 2010, a Cymer anunciou que iria adquirir a participação acionária da Carl Zeiss na joint venture Cymer / Zeiss TCZ, tornando a TCZ uma empresa Cymer de propriedade integral. Em outubro de 2012, a Cymer anunciou que estava descontinuando seus negócios TCZ.
Em outubro de 2012, a fabricante holandesa de equipamentos de semicondutores ASML anunciou que iria adquirir a Cymer, como parte de sua estratégia de equipamentos EUV. A aquisição foi concluída em maio de 2013.
Produtos e Tecnologia
Produtos DUV
As fontes de luz da Cymer, que compreendem uma base instalada de mais de 3.750 sistemas enviados, são baseadas na tecnologia KrF e ArF que fornecem luz de 248 nm e 193 nm, respectivamente. A luz nesses comprimentos de onda é produzida quando uma descarga elétrica é aplicada a uma mistura de gases (Criptônio e Flúor (KrF) ou Argônio e Flúor (ArF)). A luz resultante é coletada e entregue a uma ferramenta de exposição de varredura que é usada para padronizar wafers de silício. A linha de produtos DUV da Cymer por tecnologia inclui:
| Tecnologia | Comprimento de onda | produtos | Aplicativo |
|---|---|---|---|
| Imersão ArF | 193 nm | XLR 600ix | Litografia de imersão e padronização múltipla , nó de 32 nm e abaixo |
| Imersão ArF | 193 nm | XLR 500i | Litografia de imersão , nó de 45nm e 65nm |
| ArF Dry | 193 nm | XLA 105 HP | Litografia seca, nó de 65 nm e 90 nm |
| KrF | 248 nm | ELS 7010x | Litografia seca, nó de 130 nm e 180 nm |
| KrF | 248 nm | ELS 7010 | Litografia seca, nó sub-100 nm |
| KrF | 248 nm | ELS 6010 | Litografia seca, nó sub-100 nm |
| KrF | 248 nm | ELS 5010 | Litografia seca, nó sub-100 nm |
Produtos de base instalados
As fontes de luz instaladas nas fábricas de chips são mantidas por meio da oferta de produtos de suporte OnPulse da Cymer. OnPulse otimiza a disponibilidade e produtividade da fonte de luz para o fabricante de chips. Os novos aprimoramentos de recursos da fonte de luz são disponibilizados por meio do OnPulse e incluem suporte da organização de suporte de campo da Cymer e da infraestrutura de TI.
A Cymer oferece dois produtos de coleta, relatório e análise de dados para permitir um controle mais rígido do processo e uma qualidade aprimorada do wafer. OnPulse Plus fornece monitoramento de parâmetros de fonte de luz em tempo real (ou seja, energia, comprimento de onda, largura de banda) e correlação de eventos em nível de lote para evitar excursões e diminuir o rendimento. O SmartPulse oferece monitoramento de parâmetro de fonte de luz em nível de wafer e metrologia de feixe on-board para otimizar o processo de litografia. OnPulse Plus está disponível para todas as séries XL e ELS 7000 e 6000. SmartPulse está disponível para todas as fontes de luz da série XL.
Produtos LPP EUV
Cymer está desenvolvendo uma nova geração de fonte de luz para permitir litografia avançada além da capacidade das fontes de luz DUV. As fontes de luz LPP EUV produzem luz ultravioleta de 13,5 nm ao atingir pequenas gotículas de estanho fundido com um laser de CO2 de alta potência pulsado. O plasma resultante produz a luz de 13,5 nm que é coletada e enviada a um scanner que é usado para criar imagens de padrões de circuito em wafers de silício. As fontes de luz EUV permitirão fotolitografia abaixo do nó de 22 nm e apoiarão a Lei de Moore.
Em junho de 2020, a Cymer introduziu um equipamento para diminuir o erro de posicionamento da borda por meio da redução do contraste do speckle usando lasers de fluoreto de argônio .
Cymer na Comunidade
Cymer apóia várias organizações filantrópicas e eventos no Condado de San Diego em cinco áreas.
Educação - Os co-fundadores Robert Akins e Richard Sandstrom receberam seus Ph.Ds da Universidade da Califórnia, San Diego antes de iniciar a Cymer em 1986. Desde então, Cymer tem apoiado a Universidade e várias organizações sem fins lucrativos destinadas a promover a excelência na educação e em reconhecimento a alunos bolsistas de todos os níveis de ensino.
Saúde - Por meio de doações corporativas e do voluntariado de funcionários, Cymer apóia fundações de saúde que se esforçam para encontrar a cura para doenças que alteram vidas.
Cultura - Cymer busca e apóia organizações que fomentam a criatividade nas artes e que oferecem oportunidades para que a comunidade local experimente múltiplas formas de expressão criativa.
Meio Ambiente - Cymer apóia iniciativas que visam o descarte responsável de lixo eletrônico e a promoção de abordagens alternativas que reduzam o impacto ambiental da inovação tecnológica.
Civic - Cymer anteriormente apoiou iniciativas cívicas que ajudam a fornecer uma rede de segurança para os menos afortunados.