Gravura de óxido tamponado - Buffered oxide etch
A corrosão de óxido tamponado ( BOE ), também conhecido como HF tamponado ou BHF, é um ácido úmido usado em microfabricação . Seu uso principal é na corrosão de filmes finos de dióxido de silício (SiO 2 ) ou nitreto de silício (Si 3 N 4 ). É uma mistura de um agente tamponante , como o fluoreto de amônio (NH 4 F) e o ácido fluorídrico (HF). HF concentrado (tipicamente 49% HF em água) grava o dióxido de silício muito rapidamente para um bom controle do processo e também descasca o fotorresiste usado em padronização litográfica . A corrosão com óxido tamponado é comumente usada para uma corrosão mais controlável.
Alguns óxidos produzem produtos insolúveis em soluções de HF. Assim, o HCl é frequentemente adicionado às soluções de BHF para dissolver esses produtos insolúveis e produzir uma corrosão de qualidade superior.
Uma solução de corrosão de óxido tamponado comum compreende uma proporção de 6: 1 em volume de 40% NH 4 F em água para 49% HF em água. Esta solução irá gravar o óxido termicamente crescido a aproximadamente 2 nanômetros por segundo a 25 graus Celsius. A temperatura pode ser aumentada para aumentar a taxa de corrosão. A agitação contínua da solução durante o processo de corrosão ajuda a obter uma solução homogênea que pode gravar uniformemente ao remover o material gravado da superfície.